常見的(de)真空泵種類有(yǒu)哪些?
發布時間:
2022-07-08
真空泵種類有(yǒu)很多,按工(gōng)作原理(lǐ)可(kě)以分(fēn)爲:氣體輸送泵和(hé)氣體捕集泵;按真空度可(kě)以分(fēn)爲:粗真空度、高(gāo)真空度和(hé)超高(gāo)真空度。 按工(gōng)作原理(lǐ)分(fēn): 一、氣體輸送泵: 1、變容真空泵 1)往複式 2)旋片式: (1)油封式:旋片、滑閥式、定片式、餘擺線式、多室旋片式; (2)幹式螺杆; (3)液環式; (4)羅茨真空泵; 2、動量傳輸泵 1)分(fēn)子真空泵:牽引分(fēn)子泵、渦輪分(fēn)子泵、複合分(fēn)子泵; 2)噴射真空泵:液體噴射真空泵、氣體噴射真空泵、蒸汽噴射真空泵; 3)擴散泵:自淨化擴散泵、分(fēn)餾式擴散泵; 4)擴散噴射泵; 5)離(lí)子輸運泵; 二、氣體捕集泵 1、吸附泵; 2、吸氣劑泵; 3、吸氣劑離(lí)子泵:蒸發離(lí)子泵、濺射離(lí)子泵; 4、低溫泵;

真空泵種類有(yǒu)很多,按工(gōng)作原理(lǐ)可(kě)以分(fēn)爲:氣體輸送泵和(hé)氣體捕集泵;按真空度可(kě)以分(fēn)爲:粗真空度、高(gāo)真空度和(hé)超高(gāo)真空度。
按工(gōng)作原理(lǐ)分(fēn):
一、氣體輸送泵:
1、變容真空泵
1)往複式
2)旋片式:
(1)油封式:旋片、滑閥式、定片式、餘擺線式、多室旋片式;
(2)幹式螺杆;
(3)液環式;
(4)羅茨真空泵;
2、動量傳輸泵
1)分(fēn)子真空泵:牽引分(fēn)子泵、渦輪分(fēn)子泵、複合分(fēn)子泵;
2)噴射真空泵:液體噴射真空泵、氣體噴射真空泵、蒸汽噴射真空泵;
3)擴散泵:自淨化擴散泵、分(fēn)餾式擴散泵;
4)擴散噴射泵;
5)離(lí)子輸運泵;
二、氣體捕集泵
1、吸附泵;
2、吸氣劑泵;
3、吸氣劑離(lí)子泵:蒸發離(lí)子泵、濺射離(lí)子泵;
4、低溫泵;
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